Kasusstudie: Gjennombrudd i bearbeiding av kvartsglasssubstrat
Behandlingsobjekt: kvartsglasssubstrat for fotolitografi
Spesifikasjoner:
Materiale: 99,99 % høy-kvartsglass
Behandlingsfunksjoner: dobbel-sidig C0.2 fas + vertikal sidevegg
Krav til overflate: Ra < 150nm (speilgrad)
Dimensjoner: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Analyse av smertepunkter for industribehandling
Som kjernen forbruksvarer av halvlederproduksjonsutstyr, må kvartsdeler for fotolitografi møte tre strenge standarder samtidig: materialtransmittans > 99,6 %, dimensjonstoleranse ±10μm og sideveggruhet Ra < 150nm. Den tradisjonelle prosesseringsmetoden bruker slipeskivens slipeprosess, som har to store industriproblemer:
Effektivitetsflaskehals: enkelt-behandling tar opptil 120 minutter
Overflatefeil: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Tap av verktøy: vanlig verktøylevetid er mindre enn 50 stykker
BISHENløsninger teknologiinnovasjon
Med tanke på de harde og sprø egenskapene til kvartsmaterialer, en komposittbehandlingsløsninger vedtatt:
• 20kHz ultrasonisk presisjonsgravering og fresesystem
• Integrert PCD mikro-bladfreser (kant R0,05 mm)
• Aksial lagdelt kutteprosess (2μm per lag)
Sammenligning av målte behandlingsfordeler
Gjennom prosessverifisering og sammenligning har nøkkelindikatorer blitt betydelig forbedret:
Bransjeapplikasjonsverdi
Denne løsningen løste med suksess "flaskehals"-behandlingsproblemet i lokaliseringsprosessen av litografimaskindeler, og økte produksjonskapasiteten for kvartssubstrat fra 10 stykker per dag til 50 stykker, og prosesseringskvalifiseringsgraden fra 63% til 98,5%. I henhold til deteksjonen av Zeiss laserinterferometer er PV-verdien for prosessoverflatens nøyaktighet<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
OmBISHEN
Bishen presisjonspesialiserer seg på presisjonsbehandling av maskinvaredeler, med 7500 kvadratmeter standardiserte verksteder, og tjenestene dekker romfart, medisinsk utstyr, industriroboter og andre felt. Med evnen til å behandle komplekse strukturelle deler og ISO-systemsertifisering, gir den kundene full-prosessløsninger fra design og utvikling til masseproduksjon.
