Innenfor tredjegenerasjons halvlederproduksjon har silisiumkarbidplater og chucker blitt uerstattelige nøkkelkomponenter på grunn av deres korrosjonsmotstand og høye varmeledningsevne. Imidlertid har industriens smertepunkter som er utsatt under behandlingen lenge plaget presisjonsproduksjonsselskaper.
Typisk behandlingssak
Et prosesseringsprosjekt av silisiumkarbidplater for chuck utført av et bestemt selskap krever fullføring av hulrom- og sporstruktursliping av D380x5 mm arbeidsstykker. Hardheten til dette materialet når HV2,002, som er nær 1/3 av hardheten til naturlig diamant. Hyppige problemer med kantkollaps under bearbeiding resulterte i en beståtthastighet på mindre enn 60 %, og tradisjonelle verktøy ble skrotet på 159 minutter, og behandlingen av et enkelt stykke tok opptil 888 minutter.
Smertepunkter i industriforedling
SiC-materialer står overfor tre store utfordringer i tradisjonell prosessering på grunn av deres høye hardhet og sprøhet:
Flishastigheten til arbeidsstykkets kanter er over 35 %
Verktøyslitasjehastigheten er 3-5 ganger høyere enn for konvensjonelle materialer
Kontrollnøyaktigheten for overflateruhet på ±0,5 μm er vanskelig å opprettholde stabilt
BISHENløsninger for innovasjonspraksis
Som svar på de spesielle behovene til silisiumkarbidbehandling implementerte BISHENs tekniske team en tre-prosessinnovasjon:
• Vi introduserer et 20 kHz ultralyds vibrasjonsassistert prosesseringssystem
• Tilpasning av en integrert PCD mikro-bladfreser (kant R-vinkel 0,02 mm)
• Utvikle en adaptiv dynamisk justeringsalgoritme for kutteparametere
Prosessoppgraderingsresultater
Produksjonsdataene etter utstyrstransformasjon viser:
1. Chipping rate har sunket til mindre enn 8 %
2. Behandlingstiden for et enkelt stykke har blitt optimalisert til 462 minutter
3. Verktøyets levetid har overskredet 317 minutter
4.Overflatens ruhet er stabilt kontrollert ved Ra0,4μm
