Analyse av bearbeidingsobjekt
Materiale: kvartsglass av optisk kvalitet
Behandlingsfunksjoner: multi-overflatekontursliping (inkludert 3 asymmetriske fasetter)
Nøkkeldimensjoner: 16×16×10 mm (feil ±0,002 mm)
Dette kvartsprismet, som bare er på størrelse med en negl, er kjernelyset-lederelementet i det optiske systemet til en innenlandsk høy-litografimaskin. De 8 komplekse buede overflatene må oppnå 99,6 % transmittans og brytningsnøyaktighet på nanometer-nivå, og overflateruheten påvirker direkte eksponeringsoppløsningen til litografimaskinen.
Industriens smertepunkter og tekniske vanskeligheter
Et optisk teknologiselskap møtte en flaskehals i kvartsprismebehandling da de fremmet lokaliseringen av litografimaskiner:
Tradisjonelle slipefeil: Ruheten etter manuell polering når fortsatt Sa 120nm, noe som resulterer i 15 % lysspredningstap
Utstyrsavhengighet av import: Kostnaden for en enkelt japansk ultra-presisjonskvern overstiger 20 millioner yuan, og leveringsperioden er så lang som 18 måneder
Avkastningskrise: Bare 32 av den første batchen på 500 prøveproduksjoner oppfylte standardene, noe som drar ned prosjektets fremdrift.
Dilemmaet med "har ikke råd til importert utstyr, og innenlandske prosesser er ikke bra" blokkerte direkte prosessen med uavhengig litografimaskinutvikling.
BISHENløsningers løsning
Som svar på de ekstreme presisjonskravene til optiske komponenter, har BISHENs tekniske team utviklet innovativ forskning og utvikling:
1. Ultrasonisk vertikal fem-akse koblingsbehandlingssystem
Dynamisk kompensasjon på 2. 0.1μm-nivå, presis kontroll av 18-akse koblingsmaskiner
3. Matchende asymmetrisk overflate CAD/CAM intelligent programmering
4. Høy-ultralydassistert slipeteknologi
5. 40kHz ultralydvibrasjon reduserer 52 % av skjærespenningen og unngår kvartsmikrosprekker
6. Diamantmikro-pulverslipeskivens levetid forlenges med 3 ganger
Faktisk målt ytelsessprang
Tre store gjennombrudd har blitt oppnådd i masseproduksjonen av en viss type innenlands litografimaskinprisme:
1. Overflatekvalitet: Ruhet Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Behandlingseffektivitet: Enkelt-arbeidstimer er komprimert fra 14 timer til 3,5 timer
3.Kostnadskontroll: Utstyrsinvesteringer er bare 1/5 av den importerte løsningen
Utbyttegraden for den første batchen på 3000 produkter hoppet til 98,7 %, og hjalp kundene med å fullføre sammenstillingen av prototyper 6 måneder før skjema
OmtrentBISHEN
BISHENPrecision Technology (grunnlagt i 2017) fokuserer på å bryte gjennom "flaskehals"-teknologien innen høy-produksjon. Den har bygget en 7500 kvadratmeter stor digital fabrikk i Dongguan, utstyrt med importerte utstyrsklynger som f.eks. fem-aksekoblingsmaskiner og ultra-optiske slipemaskiner. Ved å bruke innovative teknologier som ultralydbearbeiding og kryogenisk skjæring til halvlederutstyr, optoelektroniske instrumenter og andre felt, har den levert nøkkelkomponentbehandlingsløsninger for mer enn 20 innenlandske litografimaskinindustrikjedeselskaper, og har levert mer enn 500 000 presisjonsoptiske komponenter.
